Peamine erinevus mikroanalüüsi ja poolmikroanalüüsi vahel seisneb selles, et mikroanalüüsi kasutatakse materjali analüüsimiseks vähem kui 10mg massiga, poolmikanalüüsi kasutatakse materjali analüüsimiseks aga massiga umbes 100-500mg.
Mikro- ja poolmikroanalüüs on kahte tüüpi kvalitatiivne analüüs, milleks on materjali analüüs nende omaduste, mitte koguste asemel. Mikroanalüüs viitab materjali analüüsile, mille osakeste suurus on mikroskaalas. Mikroanalüüsiks võib kasutada erinevaid meetodeid. Poolmikanalüüs on seevastu välja töötatud mikroanalüüsi meetod.
